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応用物理学会第3回講習会
「X線反射率による薄膜・多層膜の解析」


主 催 (社)応用物理学会 埋もれた界面のX線・中性子解析研究会
協 賛 分子科学会ほか
日 時 2009年5月22日(金)8:30〜16:30
場 所 (独)物質・材料研究機構 千現地区
(〒305-0047 茨城県つくば市千現1-2-1)つくばエクスプレス線 つくば駅 南へ徒歩8分
内 容 X線反射率法は、薄膜・多層膜の膜厚、密度、各界面のラフネス等を非破壊的に求めることができる解析技術です。本講習会では、経験豊富な専門家が、基礎からの講義と少人数制のデータ解析の実習(A経験者コース、B解析体験コース、C初学者コース)をきめ細かく行ないます。 休憩時間には「X線反射率相談デスク」を設け、日頃の疑問に7名の専門家がお答えします。

プログラム

08:30 開場、受付開始
09:00 - 09:20 X線反射率法とは
桜井健次(物材機構)
09:20 - 10:10 X線反射率法の基礎
淡路直樹(富士通)
10:10 - 11:00 X線反射率の測定装置・方法
表和彦(リガク)
11:00 - 11:20 休憩(X線反射率相談デスク、7箇所設置)
11:20 - 12:00

X線反射率法の応用①(ご希望の分野により2グループに分かれて実施)
半導体・磁性体薄膜への応用
川村朋晃(日亜化学)、上田和浩(日立)
有機薄膜への応用
林好一(東北大)、矢野陽子(立命館)

12:00 - 13:00 昼食休憩(X線反射率相談デスク、7箇所設置)
13:00 - 13:40

X線反射率法の応用②(ご希望の分野により2グループに分かれて実施)
半導体・磁性体薄膜への応用
川村朋晃(日亜化学)、上田和浩(日立)
有機薄膜への応用
林好一(東北大)、矢野陽子(立命館)

13:50 - 16:30 X線反射率法のデータ解析実習
A. 経験者コース (担当 表和彦 8名程度まで)
B. 解析体験コース (担当 淡路直樹 16名程度まで)
C. 初学者コース (担当 桜井健次 16名程度まで)
X線反射率法の応用の講義は、半導体・磁性体薄膜、有機薄膜のいずれかをお選びください。実習コースもA, B, C のなかからお選びいただきます(コースの詳細は下記ホームページをご覧下さい)。特にご希望のない場合も、個別にお話を伺い、ご相談の上、最適のコースを決めさせて頂きます。
教 材 「X線反射率法入門」(講談社、本体価格5775円)を参考書として配布するほか、すべての講義のレジュメを用意いたします。
受講費 19,000 円 (「X線反射率法入門」をお持ちの方は14,000円)
定 員 40名(定員になり次第締め切ります)
参加申込方法 webページで内容をご確認の上、氏名(ふりがな)、所属、住所、TEL、FAX、e-mail、応用分野(「半導体・磁性体薄膜」または「有機薄膜」)と実習コース(A, B,C)のご希望をご連絡下さい。折り返し受付の連絡と請求書の郵送をいたしますので、下記振込先に入金をお願いします。入金確認をもって、参加申込み完了となります。
受講費振込先 「ジャパンネット銀行(銀行コード0033)、本店営業部(支店コード001)、普通3844666、ウモレタカイメン」または「水戸信用金庫、つくば支店(店番035)、普通0237487、ウモレタカイメンサクライケンジ」
連絡先

〒305-0047
茨城県つくば市千現1-2-1
(独) 物質・材料研究機構 桜井健次
TEL:029-859-2821、FAX:029-859-2801
e-mail sakurai@yuhgiri.nims.go.jp
カリキュラム、実習コースなどの詳細
http://www.nims.go.jp/xray/ref/TutorialXRR2009.htm


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